GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

周波 · 发表于 2021-4-11 13:00

半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法（GB/T 4298-1984），该标准的归口单位为无，英文名为The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials。
半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法（GB/T 4298-1984）是在1984-03-28发布，在1985-03-01开始实施。
它在2017-12-15作废。本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。本标准包括杂质元素(十六个)的反应堆中子活化仪器分析方法、铜和砷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、磷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、氧的α粒子活化仪器分析方法和碳的氚子活化仪器分析方法。
本标准文件共有18页。

GB_T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法.pdf (766.41 KB)

咩咩 · 发表于 2022-10-13 03:51

看看先

萌大大 · 发表于 2024-5-12 07:59

很给力~

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GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

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