GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法:本标准为GB/T 38447-2020，标准的中文名称为微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法，标准的英文名称为Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration，本标准在2020-03-06发布，在2020-07-01开始实施。
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GB_T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法.pdf