GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

劲舞团 · 发表于 2021-3-6 12:06

本标准为GB/T 38447-2020，标准的中文名称为微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法，标准的英文名称为Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration，本标准在2020-03-06发布，在2020-07-01开始实施。
本标准文件共有18页。

GB_T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法.pdf (1.57 MB)

dde · 发表于 2022-2-21 02:53

看看先

1303264678 · 发表于 2022-4-30 06:08

看看。。。

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GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

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