GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板:本标准为GB/T 34178-2017，标准的中文名称为光掩模石英玻璃基板，标准的英文名称为Silica glass substrates for photomask，本标准在2017-09-07发布，在2018-08-01开始实施。
本标准规定了光掩模石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二级管(LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
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GB_T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板.pdf