硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法（GB/T 35306-2023），英文名为Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry method。
硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法（GB/T 35306-2023）是在2023-08-06发布，在2024-03-01开始实施。
本文件描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。本文件适用于室温电阻率大于1Ω•cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3Ω•cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围（以原子数计）为2.5×10<sup>14</sup> cm<sup>-3</sup>～1.5×10<sup>17</sup>cm<sup>-3</sup>。
本标准文件共有8页。
GB_T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法.pdf