GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法

软旅 · 发表于 2024-1-12 14:43

硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法（GB/T 35306-2023），英文名为Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry method。
硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法（GB/T 35306-2023）是在2023-08-06发布，在2024-03-01开始实施。
本文件描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。本文件适用于室温电阻率大于1Ω•cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3Ω•cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围（以原子数计）为2.5×1014 cm-3～1.5×1017cm-3。
本标准文件共有8页。

GB_T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法.pdf (639.35 KB)

ewaaaa · 发表于 2024-1-14 14:40

不错不错

573165083 · 发表于 2024-2-9 17:18

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