GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片:碳化硅单晶抛光片（GB/T 30656-2014），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会，英文名为Polished monocrystalline silicon carbide wafers。
碳化硅单晶抛光片（GB/T 30656-2014）是在2014-12-31发布，在2015-09-01开始实施。
本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检查规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电阻器件的外延衬底。
本标准文件共有15页。
GB_T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片.pdf