GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片

gameboy33 · 发表于 2021-4-13 01:42

碳化硅单晶抛光片（GB/T 30656-2014），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会，英文名为Polished monocrystalline silicon carbide wafers。
碳化硅单晶抛光片（GB/T 30656-2014）是在2014-12-31发布，在2015-09-01开始实施。
本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检查规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电阻器件的外延衬底。
本标准文件共有15页。

GB_T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片.pdf (783.32 KB)

huangye · 发表于 2022-1-31 20:40

不错不错

Yy20074wei · 发表于 2022-3-16 14:42

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GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片

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