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GB_T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法.pdf

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GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法:

本标准为GB/T 30866-2014，标准的中文名称为碳化硅单晶片直径测试方法，标准的英文名称为Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers，本标准在2014-07-24发布，在2015-02-01开始实施。
本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。
本标准文件共有5页。

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