GB/T 29504-2013 300mm硅单晶:本标准为GB/T 29504-2013，标准的中文名称为300mm硅单晶，标准的英文名称为300 mm monocrystalline silicon，本标准在2013-05-09发布，在2014-02-01开始实施。
本标准规定了直径300mm、p型、(100)晶向、电阻率0.5Ω·cm～20Ω·cmm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。
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GB_T 29504-2013 300mm硅单晶.pdf