GB/T 29504-2013 300mm硅单晶

逍遥丿包子 · 发表于 2021-4-12 14:28

本标准为GB/T 29504-2013，标准的中文名称为300mm硅单晶，标准的英文名称为300 mm monocrystalline silicon，本标准在2013-05-09发布，在2014-02-01开始实施。
本标准规定了直径300mm、p型、(100)晶向、电阻率0.5Ω·cm～20Ω·cmm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。
本标准文件共有7页。

GB_T 29504-2013 300mm硅单晶.pdf (173.63 KB)

ZC258 · 发表于 2022-1-6 15:35

支持下啊

cc586 · 发表于 2022-3-16 12:33

看看先

林大仙人 · 发表于 2025-8-20 14:25

金币不够啊。。。

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