本标准为SJ 20843-2002，标准的中文名称为砷化镓单晶AB微缺陷密度定量检验方法，标准的英文名称为Quantitative determination of AB microscopic defect density in gallium arsenide single crystal，本标准在2002-10-30发布，在2003-03-01开始实施。
本标准规定了砷化镓单晶中AB微缺陷密度的定量检验方法。本标准适用于晶向为<100>的砷化镓单晶中AB微缺陷密度的测量。
本标准文件共有7页。 SJ 20843-2002 砷化镓单晶AB微缺陷密度定量检验方法.pdf(332.57 KB)
