本标准为GB/T 37049-2018,标准的中文名称为电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法,标准的英文名称为Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method,本标准在2018-12-28发布,在2019-04-01开始实施。
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