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GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

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7vt5u2128s 发表于 2018-12-26 05:03 | 显示全部楼层 |阅读模式
本标准为GB/T 37049-2018,标准的中文名称为电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定  电感耦合等离子体质谱法,标准的英文名称为Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method,本标准在2018-12-28发布,在2019-04-01开始实施。
本标准文件共有7页。
GB_T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf (589.83 KB)
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2711875846 发表于 2022-1-21 16:35 | 显示全部楼层
看看先
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聖靈之舞 发表于 2022-2-22 11:48 | 显示全部楼层
谢谢分享!!!!
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