SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范

liyang · 发表于 2021-12-6 08:03

本标准为SJ/T 11275-2002，标准的中文名称为卧式液相外延系统通用规范，标准的英文名称为Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system，本标准在2002-10-30发布，在2003-03-01开始实施。
本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备,亦可参照执行。
本标准文件共有12页。

SJ_T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范.pdf (532.26 KB)

小学僧 · 发表于 2021-12-24 16:08

看看。。。

南阳 · 发表于 2021-12-29 16:09

强强强强

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SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范

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