GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法

missboy · 发表于 2021-12-9 23:27

本标准为GB/T 4059-1983，标准的中文名称为硅多晶气氛区熔磷检验方法，标准的英文名称为Polycrystalline silicon--Examination method--Zone-melting on phosphorus under controlled atmosphere，本标准在1983-12-20发布，在1984-12-01开始实施。
本标准作废日期为2008-02-01。被标准GB/T 4059-2007替代。
本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。
本标准文件共有4页。

GB_T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法.pdf (93.58 KB)

哈哈哈哈 · 发表于 2022-2-5 04:11

看看。。。

1721573441 · 发表于 2022-4-11 02:55

感谢分享~

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GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法

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