SJ/T 11638-2016 电子化学品中颗粒的测试方法

lanlinchuxi · 发表于 2021-4-9 11:10

电子化学品中颗粒的测试方法（SJ/T 11638-2016），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会，英文名为Test method of particle in electronic chemicals。
电子化学品中颗粒的测试方法（SJ/T 11638-2016）是在2016-10-22发布，在2017-01-01开始实施。
本标准规定了用激光粒子计数法测定液体电子化学品中颗粒的方法。本标准适用于液体电子化学品中颗粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径有0.1μm～1.0μm可选。测定的电子化学品的颗粒浓度为（0～10 000）每毫升/个，其他粒径的可参考执行。
本标准文件共有8页。

SJ_T 11638-2016 电子化学品中颗粒的测试方法.pdf (1014.62 KB)

physicman · 发表于 2022-1-30 23:48

好东西！！！

liyunsmdl · 发表于 2022-3-24 04:56

很给力~

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SJ/T 11638-2016 电子化学品中颗粒的测试方法

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