SJ/T 11638-2016 电子化学品中颗粒的测试方法:电子化学品中颗粒的测试方法(SJ/T 11638-2016),该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会,英文名为Test method of particle in electronic chemicals。
电子化学品中颗粒的测试方法(SJ/T 11638-2016)是在2016-10-22发布,在2017-01-01开始实施。
本标准规定了用激光粒子计数法测定液体电子化学品中颗粒的方法。本标准适用于液体电子化学品中颗粒的连续式或单次检测计数,测定的粒径有0.1μm~1.0μm可选。测定的电子化学品的颗粒浓度为(0~10 000)每毫升/个,其他粒径的可参考执行。
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