YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

JK10 · 发表于 2021-4-10 00:24

本标准为YS/T 23-2016，标准的中文名称为硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法，标准的英文名称为Test method for thickness of epitaxial layers. Stacking fault size，本标准在2016-04-05发布，在2016-09-01开始实施。
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。本标准适用于在&lt;111&gt;、&lt;100&gt;、和&lt;110&gt;晶向的硅单晶衬底上生长的2μm～120μm硅外延层厚度的测量。
本标准文件共有8页。

YS_T 23-2016 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法.pdf (455.71 KB)

qq2501663552 · 发表于 2021-12-16 13:33

不错不错

都欺负 · 发表于 2023-1-22 00:42

好资源，正好需要

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YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

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