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YS_T 26-1992 硅片边缘轮郭检验方法.pdf

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YS/T 26-1992 硅片边缘轮郭检验方法:

硅片边缘轮郭检验方法（YS/T 26-1992），该标准的归口单位为无，硅片边缘轮郭检验方法（YS/T 26-1992）是在1992-03-09发布，在1993-01-01开始实施。
它在2017-01-01作废。被标准YS/T 26-2016替代。
该标准采用了标准ASTM F928-1985,MOD。
本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓。
本标准文件共有5页。

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