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SJ 1794-1981 半导体器件生产用扩散炉通用技术条件.pdf

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SJ 1794-1981 半导体器件生产用扩散炉通用技术条件:

本标准为SJ 1794-1981，标准的中文名称为半导体器件生产用扩散炉通用技术条件，本标准在1981-10-01发布，在1981-10-01开始实施。
本标准适用于对半导体器件、集成电路用原材料进行氧化、扩散和其他热处理的扩散炉。本标准未做明确规定的一般技术要求,应按SJ 142-78《电子工业专用设备总技术条件》执行。各类扩散炉的特殊要求,在相应的产品标准中予以规定。
本标准文件共有6页。

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