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SJ_T 31455-1994 反渗透装置完好要求和检查评定方法.pdf

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SJ/T 31455-1994 反渗透装置完好要求和检查评定方法:

本标准为SJ/T 31455-1994，标准的中文名称为反渗透装置完好要求和检查评定方法，本标准在1994-04-15发布，在1994-06-01开始实施。
本标准规定了电子工业元器件生产用电子级水制造设备反渗透装置的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子工业企业电子元器件,集成电路制造以及清洗工序用电子级水制造的反渗透装置。
本标准文件共有4页。

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