SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语:集成电路主要工艺设备术语（SJ/T 10152-1991），该标准的归口单位为无，英文名为Terms relating to main equipment for integrated circuit technologies。
集成电路主要工艺设备术语（SJ/T 10152-1991）是在1991-04-02发布，在1991-07-01开始实施。
本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。 本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。
本标准文件共有67页。
SJ_T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语.pdf