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SJ 2595-1985 高纯四氯化硅中痕量磷的分光光度比色测试方法.pdf

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SJ 2595-1985 高纯四氯化硅中痕量磷的分光光度比色测试方法:

本标准为SJ 2595-1985，标准的中文名称为高纯四氯化硅中痕量磷的分光光度比色测试方法，本标准在1985-07-31发布，在1986-01-01开始实施。
本方法适用于生长半导体器件及电路用硅外延片、多晶硅和光通讯器件用光纤予制件的高纯四氯化硅中磷含量的测试方法。
本标准文件共有6页。

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