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JB_T 13872-2020 平面相移干涉仪.pdf

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JB/T 13872-2020 平面相移干涉仪:

本标准为JB/T 13872-2020，标准的中文名称为平面相移干涉仪，标准的英文名称为Phase shift interferometer for flat，本标准在2020-04-16发布，在2021-01-01开始实施。
本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式与基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪。
本标准文件共有15页。

标准封面截图：
JB/T 13872-2020 平面相移干涉仪

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