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JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范:

椭偏仪校准规范（JJF 1932-2021），英文名为Calibration Specification for Ellipsometers。
椭偏仪校准规范（JJF 1932-2021）是在2021-12-08发布，在2022-06-08开始实施。
本规范适用于波长范围在250nm~2000nm内的椭偏仪的校准。
本标准文件共有23页。

标准封面截图：
JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范

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