本标准为SJ/T 11865-2022，标准的中文名称为功率器件用Φ 150 mm n型碳化硅衬底，标准的英文名称为Φ150 mm n-type silicon carbide substrate for power devices，本标准在2022-10-20发布，在2023-01-01开始实施。
本文件规定了功率器件用Φ150mm n 型碳化硅（SiC）衬底的术语、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。适用于经抛光后制备的Φ150mm n 型 SiC 衬底，晶型为 4H。
本标准文件共有14页。
SJ_T 11865-2022 功率器件用Φ 150 mm n型碳化硅衬底.pdf