本标准为YS/T 1654-2023，标准的中文名称为氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法，标准的英文名称为Methods for chemical analysis of high purity gallium nitride-Determination of trace impurity elements contents-Glow discharge mass spectrometry，本标准在2023-12-20发布，在2024-07-01开始实施。
本文件规定了氮化镓中杂质元素含量的测定方法。本文件适用于氮化镓中杂质元素含量的测定。
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YS_T 1654-2023 氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法.pdf