SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法:本标准为SJ/T 31083-2016，标准的中文名称为真空镀膜设备完好要求和检查评定方法，标准的英文名称为Vacuum coating equipment requirements of readiness and methods of inspection assessment，本标准在2016-01-15发布，在2016-06-01开始实施。
本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查评定方法。本标准适用于BOC700-4/G型真空镀膜设备，其他型号真空镀膜设备可参照执行。
本标准文件共有6页。
SJ_T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法.pdf