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JB_T 6922-2015 真空蒸发镀膜设备.pdf

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JB/T 6922-2015 真空蒸发镀膜设备:

本标准为JB/T 6922-2015，标准的中文名称为真空蒸发镀膜设备，标准的英文名称为Vacuum evaporation coating plant，本标准在2015-10-10发布，在2016-03-01开始实施。
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于极限压力在5 X10-4 Pa～5X10-3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)。
本标准文件共有10页。

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