SJ/T 11495-2015 硅中间隙氧的转换因子指南:硅中间隙氧的转换因子指南（SJ/T 11495-2015），该标准的归口单位为全国半导体设备与材料标准化技术委员会，英文名为Guide to conversion factors for interstitial oxygen in silicon。
硅中间隙氧的转换因子指南（SJ/T 11495-2015）是在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了硅中间隙氧的转换因子指南。本标准适用于在室温下测试电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和电阻率大于0.5Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量。
本标准文件共有8页。
SJ_T 11495-2015 硅中间隙氧的转换因子指南.pdf