SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法:本标准为SJ/T 11504-2015，标准的中文名称为碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法，标准的英文名称为Test method for measuring surface quality of polished monocrystalline silicon carbide，本标准在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了碳化硅单晶抛光片(以下简称"抛光片")表面质量的目视检验方法。本标准适用于单面或者双面抛光的碳化硅单晶抛光片表面质量的检测。
本标准文件共有8页。
SJ_T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法.pdf