JB/T 12067-2014 TDL-GX 硅芯生长炉:本标准为JB/T 12067-2014,标准的中文名称为TDL-GX 硅芯生长炉,标准的英文名称为TDL-GX silicon core growing furnace,本标准在2014-07-09发布,在2014-11-01开始实施。
本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。本标准适用于高频感应加热,采用基座法生长硅基发热载体的设备。
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