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YS_T 937-2013 镍铂靶材.pdf

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YS/T 937-2013 镍铂靶材:

镍铂靶材（YS/T 937-2013），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，英文名为Nickel-platinum target。
镍铂靶材（YS/T 937-2013）是在2013-10-17发布，在2014-03-01开始实施。
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
本标准文件共有21页。

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