SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范:碳化硅单晶抛光片规范（SJ/T 11502-2015），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会，英文名为Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers。
碳化硅单晶抛光片规范（SJ/T 11502-2015）是在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本规范规定了碳化硅单品抛光片的术语和定义、牌号、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。本规范适用于品型为6H和4H,单面或双面抛光,直径100mm及以下的碳化硅单晶抛光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。
本标准文件共有20页。
SJ_T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范.pdf