SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范

蓝苹果 · 发表于 2021-4-12 17:34

碳化硅单晶抛光片规范（SJ/T 11502-2015），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会，英文名为Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers。
碳化硅单晶抛光片规范（SJ/T 11502-2015）是在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本规范规定了碳化硅单品抛光片的术语和定义、牌号、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。本规范适用于品型为6H和4H,单面或双面抛光,直径100mm及以下的碳化硅单晶抛光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。
本标准文件共有20页。

SJ_T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范.pdf (3.21 MB)

请问阿斯顿 · 发表于 2021-12-16 11:14

这个好啊，谢谢了。

978926373 · 发表于 2022-4-29 06:32

支持下啊

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SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范

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