本标准为YS/T 1601-2023，标准的中文名称为六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法，标准的英文名称为Determination of impurity content in hexachlorodisilane—Inductively coupled plasma mass spectrometry，本标准在2023-04-21发布，在2023-11-01开始实施。
本文件规定了六氯乙硅烷中钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅、钡、锂、锶、铋、钼等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。本文件适用于六氯乙硅烷中杂质元素含量的测定，各元素测定范围为0.01ng/g～50ng/g。
本标准文件共有8页。
YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法: YS_T 1601-2023.png